| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATICALLY SCRUBBING A SURFACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0283219(A3) |
申请公布日期 |
1988.09.28 |
| 申请号 |
EP19880302142 |
申请日期 |
1988.03.11 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD COMPANY |
发明人 |
HUFF, RICHARD E.;PERLAKI, MIKLOS K. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/26;G01R31/28;H01R33/76;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
