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经营范围
发明名称
Wafer handler
摘要
申请公布号
US4773687(A)
申请公布日期
1988.09.27
申请号
US19870053980
申请日期
1987.05.22
申请人
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY, AT&T TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BUSH, DONALD R.;REICHL, GARY J.
分类号
H01L21/677;B25J15/06;H01L21/683;(IPC1-7):B25J15/06
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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