发明名称 Wafer handler
摘要
申请公布号 US4773687(A) 申请公布日期 1988.09.27
申请号 US19870053980 申请日期 1987.05.22
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY, AT&T TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BUSH, DONALD R.;REICHL, GARY J.
分类号 H01L21/677;B25J15/06;H01L21/683;(IPC1-7):B25J15/06 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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