发明名称 DEPOSITING THIN FILMS ON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 IE31418(L) 申请公布日期 1968.03.01
申请号 IE19670001023 申请日期 1967.08.24
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY INC. 发明人
分类号 (IPC1-7):C23C11/00 主分类号 (IPC1-7):C23C11/00
代理机构 代理人
主权项
地址