发明名称 |
Mixed nitride layers comprising at least two metals and¹process for their preparation |
摘要 |
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申请公布号 |
IE880843(L) |
申请公布日期 |
1988.09.23 |
申请号 |
IE19880000843 |
申请日期 |
1988.03.22 |
申请人 |
BENJAMINO PETER LUCIUS JOZEF KLEIN, |
发明人 |
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分类号 |
C23C14/02;C23C14/06;C23C30/00;(IPC1-7):C23C30/00 |
主分类号 |
C23C14/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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