| 摘要 |
L'appareil décrit (10) sert à transporter un objet (19), tel que généralement une tranche de semi-conducteurs, en divers points à l'intérieur d'une zone circulaire plane (Z). Ledit appareil de transport (10) comprend une sous-unité motrice (12) destinée à produire un mouvement de rotation et à le distribuer à une sous-unité (14) faisant office de bras et tournant autour d'un axe (20) faisant office de coude et, par l'intermédiaire d'une sous-unité de commande par excentrique (110) à une sous-unité (16) faisant office de main et destinée à soutenir la tranche (19). La sous-unité (16) faisant office de main tourne autour d'un axe (21) faisant office de poignet qui est parallèle mais éloigné par rapport à l'axe (20) faisant office de coude indépendamment de la rotation de la sous-unité (14) faisant office de bras. La sous-unité de commande par excentrique (110) contient des paires complémentaires d'éléments d'entraînement à cames (111, 112) reliés par des éléments de liaison à cames (12, 122), de façon à distribuer le mouvement de rotation depuis l'axe (20) faisant office de coude vers l'axe (21) faisant office de poignet. Ledit appareil (10) est particulièrement utile dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs, où il peut être utilisé pour des tâches variées, tel qu'essentiellement le transport de tranches (19) depuis une position de poste de travail vers une autre de façon contrôlable avec précision. |
