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发明名称 DATUM SENSING USING OPTICAL GRATING
摘要
申请公布号 EP0209340(A3) 申请公布日期 1988.09.21
申请号 EP19860305389 申请日期 1986.07.14
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 ROBINSON, LAURENCE JOHN;PETTIGREW, ROBERT MARTIN
分类号 G01B11/00;G01D5/36;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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