| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR NACHBEHANDLUNG EINES DUENNSCHICHTSYSTEMS BASIEREND AUF EINEM SILIZIUMSUBSTRAT MIT EINER ISOLIERENDEN OBERFLAECHENSCHICHT UND EINER DARAUF ANGEORDNETEN MONOKRISTALLINEN SILIZIDSCHICHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD260369(A1) |
申请公布日期 |
1988.09.21 |
| 申请号 |
DD19870302345 |
申请日期 |
1987.05.04 |
| 申请人 |
FRIEDRICH-SCHILLER- UNIVERSITAET JENA,DD |
发明人 |
WITZMANN,ANDRE,DD |
| 分类号 |
H01L21/283;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/283 |
主分类号 |
H01L21/283 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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