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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ADJUSTING THE OPTICAL AXIS OF AN ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0088396(B1) 申请公布日期 1988.09.21
申请号 EP19830102140 申请日期 1983.03.04
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOBAYASHI, HIROYUKI
分类号 H01J37/04;H01J37/147;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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