| 发明名称 |
METHOD OF MEASURING NON-LINEARITY OF A PATTERN EDGE AND APPARATUS FOR MEASURING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2170904(B) |
申请公布日期 |
1988.09.21 |
| 申请号 |
GB19860000255 |
申请日期 |
1986.01.07 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA * TOSHIBA |
发明人 |
TOMOHIDE * WATANABE |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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