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发明名称 METHOD OF MAKING SLOPED VIAS
摘要
申请公布号 EP0263322(A3) 申请公布日期 1988.09.21
申请号 EP19870113322 申请日期 1987.09.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HORWATH, RONALD STEPHEN;SUSKO, ROHN RICHARD;SUSKO, ROBIN ANNE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/48;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/90;H05K3/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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