发明名称 METHOD OF HYDROGEN CHLORIDE PRODUCTION FOR MICROELECTRONICS
摘要
申请公布号 CS258702(B1) 申请公布日期 1988.09.16
申请号 CS19850000315 申请日期 1985.01.17
申请人 GASPIERIK,IVAN,CS;AUSKRECH,PETER,CS;BENZA,JOZEF,CS;HUSAR,STEFAN,CS 发明人 GASPIERIK,IVAN,CS;AUSKRECH,PETER,CS;BENZA,JOZEF,CS;HUSAR,STEFAN,CS
分类号 C01B7/01;(IPC1-7):C01B7/01 主分类号 C01B7/01
代理机构 代理人
主权项
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