发明名称 DISPOSITIF POUR L'EVAPORATION SOUS VIDE DE MATERIAUX
摘要 DISPOSITIF POUR L'EVAPORATION SOUS VIDE DE MATERIAUX COMPRENANT UNE CELLULE CYLINDRIQUE 2 LOGEANT SENSIBLEMENT EN SON CENTRE UN CREUSET 12 CONDUCTEUR DE L'ELECTRICITE CONTENANT LESDITS MATERIAUX, ENTOURE PAR AU MOINS UN FILAMENT 14 DE CHAUFFAGE, CONDUCTEUR DE L'ELECTRICITE, PROPRE A EMETTRE A HAUTE TEMPERATURE DES ELECTRONS, LA CELLULE 2 COMPRENANT ENCORE DES MOYENS 50 DE CHAUFFAGE DU FILAMENT ET DES MOYENS DE FOCALISATION DES ELECTRONS SUR LE CREUSET.SELON LA PRINCIPALE CARACTERISTIQUE DE L'INVENTION, LES MOYENS DE FOCALISATION COMPRENNENT DES MOYENS POUR ENGENDRER UN CHAMP ELECTRIQUE ELEVE ENTRE LE FILAMENT ET LE CREUSET.
申请公布号 FR2612203(A1) 申请公布日期 1988.09.16
申请号 FR19870003483 申请日期 1987.03.13
申请人 AVITAYA FRANCOIS D 发明人
分类号 C23C14/30;C30B23/06;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/28;H01L21/203 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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