| 发明名称 |
MICROSONDESTELSEL VOOR HET MET EEN AFBUIGBARE BUNDEL VAN GELADEN DEELTJES AFTASTEN VAN EEN VOORWERP. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL178923(C) |
申请公布日期 |
1988.09.16 |
| 申请号 |
NL19740009951 |
申请日期 |
1974.07.23 |
| 申请人 |
NANOMETRICS, INC. TE SUNNYVALE, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/09;H01J37/24;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;G01N23/225 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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