发明名称 METHOD OF PURIFYING SILICON SURFACE
摘要
申请公布号 SU1424072(A1) 申请公布日期 1988.09.15
申请号 SU19864141858 申请日期 1986.10.31
申请人 MO AVIATSIONNYJ T I IM.K.E.TSIOLKOVSKOGO 发明人 SOTNIKOV VASILIJ S,SU;KOLESNIK VALERIJ V,SU;BYKOV VLADIMIR A,SU;SOTNIKOVA ELENA V,SU
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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