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经营范围
发明名称
METHOD OF PURIFYING SILICON SURFACE
摘要
申请公布号
SU1424072(A1)
申请公布日期
1988.09.15
申请号
SU19864141858
申请日期
1986.10.31
申请人
MO AVIATSIONNYJ T I IM.K.E.TSIOLKOVSKOGO
发明人
SOTNIKOV VASILIJ S,SU;KOLESNIK VALERIJ V,SU;BYKOV VLADIMIR A,SU;SOTNIKOVA ELENA V,SU
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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