| 发明名称 |
METHOD OF EXPOSING A SEMICONDUCTOR WAFER TO LIGHT FROM A MERCURY-VAPOR LAMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2161285(B) |
申请公布日期 |
1988.09.14 |
| 申请号 |
GB19850006124 |
申请日期 |
1985.03.08 |
| 申请人 |
* USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKEHIRO * KIRA |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/72 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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