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发明名称 A METHOD FOR FORMING A CONDUCTOR PATTERN
摘要
申请公布号 EP0178619(A3) 申请公布日期 1988.09.14
申请号 EP19850113017 申请日期 1985.10.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KISHITA, YOSHIHIRO;FURUKAWA, MOTOKI;MITANI, TATSURO
分类号 H01L21/027;H01L21/3213;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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