发明名称 THIN FILM ALLOYING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8818979(D0) 申请公布日期 1988.09.14
申请号 GB19880018979 申请日期 1988.08.10
申请人 ION TECH LTD 发明人
分类号 C23C14/50;C23C14/54 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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