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发明名称
SUBSTRATE HOLDING MECHANISM OF SENSOR
摘要
申请公布号
JPS63221697(A)
申请公布日期
1988.09.14
申请号
JP19870056052
申请日期
1987.03.10
申请人
OMRON TATEISI ELECTRONICS CO
发明人
NAKANO HIROYUKI;OGATA AKIMITSU;MORIKAWA KAZUNORI
分类号
G01N27/04;H01L23/28;H05K7/14
主分类号
G01N27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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