发明名称 AN IMPROVED APPARATUS FOR PULSING ELECTRON BEAMS
摘要
申请公布号 EP0233123(A3) 申请公布日期 1988.09.14
申请号 EP19870400284 申请日期 1987.02.09
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 RICHARDSON, NEIL
分类号 G01R31/305;H01J37/04;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/256;G01R31/28 主分类号 G01R31/305
代理机构 代理人
主权项
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