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发明名称 MANUFACTURE OF DIFFRACTION GRATINGS
摘要
申请公布号 EP0175460(B1) 申请公布日期 1988.09.14
申请号 EP19850305292 申请日期 1985.07.25
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 PETTIGREW, ROBERT MARTIN;LONGMAN, ROBERT JAMES
分类号 G03F7/00;G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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