| 发明名称 |
SURFACE PROTECTING MATERIAL FOR ELECTRONIC DEVICE SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63217642(A) |
申请公布日期 |
1988.09.09 |
| 申请号 |
JP19870050135 |
申请日期 |
1987.03.06 |
| 申请人 |
SHELL INTERNATL RES MAATSCHAPPIJ BV |
发明人 |
ENDO MASAYUKI;MATSUKI YASUO;MIYASHITA SATOSHI;IKEDA HIROHARU |
| 分类号 |
H01L21/301;C09D5/00;C09D5/20;C09D109/06;C09D121/00;C09D151/00;C09D153/00;C09D153/02;H01L21/304;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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