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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6333960(Y2) 申请公布日期 1988.09.08
申请号 JP19840046130U 申请日期 1984.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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