发明名称 LASERINTERFEROMETER ZUR INTERFEROMETRISCHEN LAENGENMESSUNG
摘要
申请公布号 DE3706347(A1) 申请公布日期 1988.09.08
申请号 DE19873706347 申请日期 1987.02.27
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV 发明人 HOEFLER,HEINRICH,DR.RER.NAT.;BERGMANN,ECKHARD,DIPL.-ING.
分类号 G01B9/02;H01S5/062;H01S5/068;H01S5/0683;H01S5/0687;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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