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发明名称
LASERINTERFEROMETER ZUR INTERFEROMETRISCHEN LAENGENMESSUNG
摘要
申请公布号
DE3706347(A1)
申请公布日期
1988.09.08
申请号
DE19873706347
申请日期
1987.02.27
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV
发明人
HOEFLER,HEINRICH,DR.RER.NAT.;BERGMANN,ECKHARD,DIPL.-ING.
分类号
G01B9/02;H01S5/062;H01S5/068;H01S5/0683;H01S5/0687;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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