| 发明名称 |
STEP COVERAGE METHOD FOR DIELECTRICS IN VLSI CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0164924(A3) |
申请公布日期 |
1988.09.07 |
| 申请号 |
EP19850303445 |
申请日期 |
1985.05.16 |
| 申请人 |
NORTHERN TELECOM LIMITED |
发明人 |
MERCIER, JACQUES SERGE;HO, VU QUOC |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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