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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63135970(U)	申请公布日期	1988.09.07
申请号	JP19870026350U	申请日期	1987.02.26
申请人		发明人
分类号	C23F13/00;(IPC1-7):C23F13/00	主分类号	C23F13/00
代理机构		代理人
主权项
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