| 摘要 |
<p>Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung epitaxialer Schichten aus schmelzflüssigen Lösungen, wobei ein, an einem Substrathalter befestigtes Substrat in eine, durch Rühren vor dem Eintauchen des Substrates homogenisierte schmelzflüssige Lösung getaucht und während des Aufwachsprozesses in horizontaler Lage in der schmelzflüssigen Lösung gedreht wird, gekennzeichnet durch einen Substrathalter, der aus einem drehbar gehalterten Stab (1) besteht, an dessen unterem, in die Schmelze eintauchenden Ende mindestens ein Rührarm (3) mit mindestens einem Rührblatt (5) am Endbereich des (der) Rührarmes (Rührarme) angeordnet ist, wobei oberhalb des Rührarmes mindestens eine Aufnahme (7) für ein Substrat (9) in einem solchen Abstand zu dem Rührblatt (den Rührblättern) vorgesehen ist, daß das(die) Substrat(e) sich noch außerhalb der schmelzflüssigen Lösung (11) befindet(befinden), wenn der Rührarm (die Rührarme) mit dem Rührblatt (den Rührblättern) bereits in die schmelzflüssige Lösung eingetaucht sind.</p> |
