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发明名称 Silicon micromachined non-elastic flow valves
摘要
申请公布号 US4768751(A) 申请公布日期 1988.09.06
申请号 US19870109976 申请日期 1987.10.19
申请人 FORD MOTOR COMPANY 发明人 GIACHINO, JOSEPH M.;HORN, WILLIAM F.;GARDNER, ROBERT C.
分类号 F02M61/18;F15C3/00;F15C5/00;F16K27/02;F16K99/00;(IPC1-7):F16K7/14;B05B1/02 主分类号 F02M61/18
代理机构 代理人
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