| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM OF COMPOUND OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63213205(A) |
申请公布日期 |
1988.09.06 |
| 申请号 |
JP19870044665 |
申请日期 |
1987.02.27 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MUROI MICHITO;TSUDA KOICHI;KOE KAZUO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;H01B3/12 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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