APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION OF MEMBRANE,申请号JP19870298864-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM VAPOR DEPOSITION OF MEMBRANE
摘要
申请公布号	JPS63213662(A)	申请公布日期	1988.09.06
申请号	JP19870298864	申请日期	1987.11.26
申请人	OPTICAL COATING LAB INC	发明人	MAIKERU DEIBUITSUDO TENPURU;RICHIYAADO IAN SEDON;KIMU ROOREN JIYONSON
分类号	C23C14/30;C23C14/32	主分类号	C23C14/30
代理机构		代理人
主权项
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