| 发明名称 |
RAPID HEATING CVD APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63213672(A) |
申请公布日期 |
1988.09.06 |
| 申请号 |
JP19880003937 |
申请日期 |
1988.01.13 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
DANIERU ERU BUROOSU;RARII AARU REIN;MAAKU DABURIYU GOORUDOSUBORAFU;JIEISON EMU SAMUSERU;MATSUKUSU BAN MASUTORIKUTO;ROBIITO FUOSUTAA |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/54;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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