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发明名称
摘要
申请公布号 JPS63502312(A) 申请公布日期 1988.09.01
申请号 JP19860500069 申请日期 1986.11.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/027;H01L21/266;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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