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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING STEAM
摘要
申请公布号
JPS63210501(A)
申请公布日期
1988.09.01
申请号
JP19870043751
申请日期
1987.02.26
申请人
TERU SAAMUKO KK
发明人
NAKAO MASARU;SATOU SEISHIROU;KATO MITSUO
分类号
F22B3/00;H01L21/22;H01L21/31
主分类号
F22B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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