| 发明名称 |
ELECTRON BEAM TESTING OF SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0237406(A3) |
申请公布日期 |
1988.08.31 |
| 申请号 |
EP19870400433 |
申请日期 |
1987.02.27 |
| 申请人 |
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION |
发明人 |
RICHARDSON, NEIL |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/3183;H01J37/28;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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