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发明名称 ISOLATION VALVE
摘要
申请公布号 IE53197(B1) 申请公布日期 1988.08.31
申请号 IE19820000363 申请日期 1982.02.22
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC. 发明人
分类号 H01L21/302;C23C14/56;C23C16/54;F16J15/16;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L31/04;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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