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发明名称 ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0119455(B1) 申请公布日期 1988.08.31
申请号 EP19840101441 申请日期 1984.02.13
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OTSUBO, TORU;AIUCHI, SUSUMU;KAMIMURA, TAKASHI
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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