| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR PHASE THIN FILM CRYSTAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63209122(A) |
申请公布日期 |
1988.08.30 |
| 申请号 |
JP19880034124 |
申请日期 |
1988.02.18 |
| 申请人 |
SAMUSAN SEMICONDUCTOR & TELECOMMUN CO LTD |
发明人 |
KII JIYOON KIMU |
| 分类号 |
H01L21/208;C30B19/02;C30B19/06;C30B19/08 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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