发明名称 VAPOUR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0164132(A3) 申请公布日期 1988.08.24
申请号 EP19850107073 申请日期 1985.06.07
申请人 ATOMIKA TECHNISCHE PHYSIK GMBH;MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 MERTENS, HORST M., DIPL.-PHYS.;BOGL, LEONHARD, DIPL.-ING. (FH)
分类号 C30B23/08;C23C14/24;G02B5/28;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24;C30B23/02 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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