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经营范围
发明名称
VAPOUR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0164132(A3)
申请公布日期
1988.08.24
申请号
EP19850107073
申请日期
1985.06.07
申请人
ATOMIKA TECHNISCHE PHYSIK GMBH;MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.
发明人
MERTENS, HORST M., DIPL.-PHYS.;BOGL, LEONHARD, DIPL.-ING. (FH)
分类号
C30B23/08;C23C14/24;G02B5/28;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24;C30B23/02
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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