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发明名称
摘要
申请公布号 JPS63129879(U) 申请公布日期 1988.08.24
申请号 JP19870022252U 申请日期 1987.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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