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发明名称 CO-BASE ALLOY SPUTTER TARGET AND PROCESS OF MANUFACTURING THEREOF
摘要
申请公布号 EP0252478(A3) 申请公布日期 1988.08.24
申请号 EP19870109731 申请日期 1987.07.06
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAMURA, KYUZO;OTA, YOSHIFUMI;YAMADA, TAIKI;ISHIKAWA, MICHIO;TANI, NORIAKI UMENOSATO-RYO;HIGUCHI, YASUSHI UMENOSATO-RYO
分类号 C22F1/10;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22F1/10
代理机构 代理人
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