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发明名称 DRY PROCESS FOR FORMING METAL PATTERNS ON A SURFACE
摘要
申请公布号 EP0134938(B1) 申请公布日期 1988.08.24
申请号 EP19840107435 申请日期 1984.06.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANDERSON, HERBERT RUDOLPH, JR.;ARAPS, CONSTANCE JOAN;LOTSKO, CATHERINE AGNES
分类号 H01L21/28;C23C14/04;G03F7/039;G03F7/36;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/312;G03F7/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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