| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING PARTICLE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS63204140(A) |
申请公布日期 |
1988.08.23 |
| 申请号 |
JP19870267605 |
申请日期 |
1987.10.22 |
| 申请人 |
INSUPETSUKUSU INC |
发明人 |
CHIYAARII ARUMANDO;MARIO EI MARUDARI;HITOSHI IIDA |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N15/02;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
