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发明名称 METHOD OF PRODUCING NEGATIVE MASK
摘要
申请公布号 SU1132746(A1) 申请公布日期 1988.08.23
申请号 SU19823471005 申请日期 1982.07.15
申请人 BERESTENKO M.K.,SU;BOKOV YU.S.,SU;BOCHKANOV A.E.,SU;NOSOV V.N.,SU;FEDOROV A.V.,SU;SHEVCHENKO A.I.,SU;SIEDIN V.A.,SU 发明人 BERESTENKO M.K.,SU;BOKOV YU.S.,SU;BOCHKANOV A.E.,SU;NOSOV V.N.,SU;FEDOROV A.V.,SU;SHEVCHENKO A.I.,SU;SIEDIN V.A.,SU
分类号 H01L21/312;G03F7/26 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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