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发明名称
PROTECTIVE PLATING OF OXIDE-FREE SILICON SURFACES
摘要
申请公布号
US3471291(A)
申请公布日期
1969.10.07
申请号
USD3471291
申请日期
1967.05.29
申请人
GENERAL ELECTRIC CO.
发明人
DONALD L. SCHAEFER
分类号
G03F7/004;H01L21/288;H01L23/29;(IPC1-7):G03C5/00
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
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