发明名称 PROTECTIVE PLATING OF OXIDE-FREE SILICON SURFACES
摘要
申请公布号 US3471291(A) 申请公布日期 1969.10.07
申请号 USD3471291 申请日期 1967.05.29
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 DONALD L. SCHAEFER
分类号 G03F7/004;H01L21/288;H01L23/29;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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