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发明名称
摘要
申请公布号 DE3303435(C2) 申请公布日期 1988.08.18
申请号 DE19833303435 申请日期 1983.02.02
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SUZUKI, KATSUMI;YOSHIZAWA, SHUJI, TOKYO, JP
分类号 C23C16/505;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/18;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C11/00;G03G5/08;H05H1/46;C30B25/08 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
主权项
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