发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING,PURIFYING AND/OR DOPING MONO- OR POLYCRYSTALLINE SEMI-CONDUCTOR COMPOUNDS
摘要
申请公布号 US3488157(A) 申请公布日期 1970.01.06
申请号 USD3488157 申请日期 1965.06.28
申请人 WACKER CHEMIE GMBH. 发明人 HANS KOFFER
分类号 C30B13/00;C30B13/12;C30B15/00;C30B15/20;(IPC1-7):B01D9/00;C01B27/00;C01G15/00 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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