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APARATO PARA FORMAR PIORLITICAMENTE UN REVESTIMIENTO DE OXIDO DE METAL SOBRE LA CARA SUPERIOR DE UN SUSTRATO (1) DE VIDRIO CALIENTE EN FORMA DE HOJA O CINTA QUE COMPRENDE MEDIOS 92) PARA CONDUCIR EL SUSTRATO (1) EN DIRECCION (3) CURSO ABAJO A LO LARGO DE UNA TRAYECTORIA TAMBIEN INDICADA EN (1) Y UNA ESTRUCTURA (5) DE TECHO QUE DEFINE UNA CAMARA (6) DE REVESTIMIENTO ABIERTA INFERIORMENTE SOBRE LA TRAYECTORIA Y QUE COMPRENDE UN PASO (11) A LO LARGO DEL CUAL SE PUEDE CONDUCIR CURSO ABAJO VAPOR DE PRECURSOR DE REVESTIMIENTO Y GAS OXIDANTE, EN CONTACTO CON LA CARA SUPERIOR DEL SUSTRATO Y DURANTE LA CONDUCCION DEL MISMO. EL MATERIAL PRECURSOR DE REVESTIMIENTO Y EL GAS OXIDANTE SON INTRODUCIDOS EN LA ZONA DE MEZCLADO (7) DE LA CAMARA (6), SE SUMINISTRA ENERGIA A DICHA ZONA, EL MATERIAL PRECURSOR Y EL GAS OXIDANTE SON MEZCLADOS MIENTRAS ESTAN EXPUESTOS AL SUSTRATO (1) A UNA ALTURA TAL QUE LA FORMACION DE REVESTIMIENTO COMIENZA CON UNA MEZCLA DE VAPOR SUSTANCIALMENTE HOMOGENEA Y DICHA MEZCLA ES FORZADA A FLUIR CONTINUAMENTE A LO LARGO DEL PASO (11), EN CONTACTO CON LA CARA SUPERIOR DEL SUSTRATO.
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