发明名称 DISPOSITIF DE MAINTIEN D'UN MASQUE, APPAREIL POUR EXPOSER UNE PIECE SENSIBLE AU DESSIN D'UN MASQUE ET DISPOSITIF DE CORRECTION DE PLANEITE
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF DESTINE A MAINTENIR DE FACON AMOVIBLE UN MASQUE PAR DES MOYENS MAGNETIQUES.</P><P>LE DISPOSITIF EST CONCU POUR MAINTENIR LE MASQUE EN UTILISANT UNE FORCE D'ATTRACTION MAGNETIQUE PRODUITE PAR DES BOBINES 5A, 5B, 5C, 5D POUVANT ETRE NOYEES DANS UNE PARTIE PERIPHERIQUE D'UN PORTE-MASQUE ET COOPERANT AVEC DES AIMANTS PERMANENTS 4A, 4B, 4C, 4D MONTES FIXEMENT SUR LE PORTE-MASQUE POUR ATTIRER LE CADRE D'UN MASQUE SUR CE PORTE-MASQUE. EN REGLANT LE COURANT FOURNI A CHACUNE DES BOBINES, IL EST POSSIBLE D'AJUSTER LA FORCE D'ATTRACTION MAGNETIQUE EXERCEE PAR CHACUNE DE CES BOBINES POUR CORRIGER LA PLANEITE DU MASQUE.</P><P>DOMAINE D'APPLICATION : FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES, ETC.</P>
申请公布号 FR2610740(A1) 申请公布日期 1988.08.12
申请号 FR19880001455 申请日期 1988.02.08
申请人 CANON KK 发明人 HIDEHIKO FUJIOKA
分类号 H01L21/673;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/02 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
地址