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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ZUECHTUNG VON GALLIUMNITRID AUS DER GASPHASE
摘要
申请公布号 DE3802732(A1) 申请公布日期 1988.08.11
申请号 DE19883802732 申请日期 1988.01.29
申请人 TOYODA GOSEI KK;UNIV NAGOYA 发明人 MANABE, KATSUHIDE, ICHINOMIYA, AICHI, JP;OKAZAKI, NOBUO, KONAN, AICHI, JP;AKAZAKI, ISAMU, MACHIDA, TOKIO/TOKYO, JP;HIRAMATSU, KAZUMASA, YOKKAICHI, MIE, JP;AMANO, HIROSHI, HAMAMATSU, SHIZUOKA, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/68;H01L21/268;C30B25/18;C30B29/38;C30B31/06 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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