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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63123368(U)
申请公布日期
1988.08.11
申请号
JP19870015947U
申请日期
1987.02.05
申请人
发明人
分类号
H01L31/12;B62D5/04;B62D6/02;G05B11/32;G05D1/02;(IPC1-7):B62D6/02
主分类号
H01L31/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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