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经营范围
发明名称
WINKELMESSINTERFEROMETER.
摘要
申请公布号
DE244275(T1)
申请公布日期
1988.08.11
申请号
DE19870400579T
申请日期
1987.03.16
申请人
ZYGO CORP., MIDDLEFIELD, CONN., US
发明人
SOMMARGREN, GARY E., MADISON CONNECTICUT 06443, US
分类号
G01B9/02;G01B11/26;(IPC1-7):G01B11/26
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
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